一、設(shè)備簡(jiǎn)介
PTLQ系列氣體制冷機(jī)用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進(jìn)行升溫與恒溫控制氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮?dú)?、氬氣等惰性氣體。進(jìn)氣溫度可以是常溫的，也可以是高溫的，經(jīng)過(guò)氣體制冷機(jī)降至目標(biāo)低溫。針對(duì)于晶圓測(cè)試載冷臺(tái)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，氣體制冷機(jī)相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢(shì),如使用方便、安全衛(wèi)生、成本低、無(wú)異味等。
典型應(yīng)用領(lǐng)域:
晶圓測(cè)試載冷臺(tái)提供低溫氣體
芯片低溫測(cè)試
激光設(shè)備局部區(qū)域降溫
液晶觸摸屏低溫冷凍脫膠
材料性能測(cè)試
熱沉實(shí)驗(yàn)溫度控制
結(jié)晶系統(tǒng)控溫
二、 產(chǎn)品特點(diǎn)
1、-135°C~+225°C,可以滿足不同溫度的需求,可非標(biāo)定制;
2、可選配精確控溫形式，控溫精度最高可達(dá)±0.1C;
3、采用高效換熱器,降溫速度快,常溫至-80℃最快只需5分鐘;
4、可選配冷量回收裝置,提升能效,避免低溫冷凝水;
5、允許非標(biāo)控制程序定制;
6、可選配進(jìn)氣流量自動(dòng)控制與檢測(cè);
7、運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示，故障信息自動(dòng)診斷，多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能;
8、自適應(yīng)PID控制算法,無(wú)需改變參數(shù)，即可實(shí)現(xiàn)溫度控制;
9、完善的安全保護(hù)措施,設(shè)置有多種安全保護(hù)機(jī)制以確保系統(tǒng)的安全運(yùn)行;
10、質(zhì)量保障。
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